دورية أكاديمية

C54-TiSi2 formation using nanosecond laser annealing of A-Si/Ti/A-Si stacks

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: C54-TiSi2 formation using nanosecond laser annealing of A-Si/Ti/A-Si stacks
المؤلفون: Guelladress, Réda, Kerdilès, Sébastien, Dartois, Mélanie, Sabbione, Chiara, Gregoire, Magali, Mangelinck, Dominique
المصدر: In Thin Solid Films 15 June 2024 798
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:00406090
DOI:10.1016/j.tsf.2024.140386