دورية أكاديمية
C54-TiSi2 formation using nanosecond laser annealing of A-Si/Ti/A-Si stacks
العنوان: | C54-TiSi2 formation using nanosecond laser annealing of A-Si/Ti/A-Si stacks |
---|---|
المؤلفون: | Guelladress, Réda, Kerdilès, Sébastien, Dartois, Mélanie, Sabbione, Chiara, Gregoire, Magali, Mangelinck, Dominique |
المصدر: | In Thin Solid Films 15 June 2024 798 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 00406090 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.tsf.2024.140386 |