دورية أكاديمية
The deposition and microstructure of amorphous tungsten oxide films by sputtering
العنوان: | The deposition and microstructure of amorphous tungsten oxide films by sputtering |
---|---|
المؤلفون: | Li, Chuan, Hsieh, J.H., Hung, Ming-Tsung, Huang, B.Q. |
المصدر: | In Vacuum August 2015 118:125-132 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 0042207X |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.vacuum.2015.01.020 |