دورية أكاديمية
Orbitrap™-SIMS analysis of advanced semiconductor inorganic structures
العنوان: | Orbitrap™-SIMS analysis of advanced semiconductor inorganic structures |
---|---|
المؤلفون: | Franquet, A., Spampinato, V., Kayser, S., Vandervorst, W., van der Heide, P. |
المصدر: | In Vacuum August 2022 202 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 0042207X |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.vacuum.2022.111182 |