دورية أكاديمية

Calculation of oxide sputter yields

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Calculation of oxide sputter yields
المؤلفون: Depla, D., Van Bever, J.
المصدر: In Vacuum April 2024 222
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:0042207X
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.112994