دورية أكاديمية

Enhancement of 6.7 nm EUV emission from laser-produced Gd plasma with micro-structured target

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Enhancement of 6.7 nm EUV emission from laser-produced Gd plasma with micro-structured target
المؤلفون: Zhang, Qijin, Dou, Yinping, Zhang, Yibin, Wen, Zhilin, Wang, Chaohui, Ye, Fengwei, Song, Xiaowei, Xie, Zhuo, Lin, Jingquan
المصدر: In Vacuum April 2024 222
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:0042207X
DOI:10.1016/j.vacuum.2024.113024