دورية أكاديمية
Mechanical characterization of low- k dielectric materials using nanoindentation
العنوان: | Mechanical characterization of low- k dielectric materials using nanoindentation |
---|---|
المؤلفون: | Nay, R.J, Warren, O.L, Yang, D, Wyrobek, T.J |
المصدر: | In Microelectronic Engineering 2004 75(1):103-110 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01679317 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.mee.2004.01.043 |