دورية أكاديمية
Mechanical characterization of low- k dielectric materials using nanoindentation
| العنوان: | Mechanical characterization of low- k dielectric materials using nanoindentation |
|---|---|
| المؤلفون: | Nay, R.J, Warren, O.L, Yang, D, Wyrobek, T.J |
| المصدر: | In Microelectronic Engineering 2004 75(1):103-110 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 01679317 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.mee.2004.01.043 |