دورية أكاديمية
Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories
العنوان: | Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories |
---|---|
المؤلفون: | Abrutis, A., Plausinaitiene, V., Skapas, M., Wiemer, C., Salicio, O., Longo, M., Pirovano, A., Siegel, J., Gawelda, W., Rushworth, S., Giesen, C. |
المصدر: | In Microelectronic Engineering 2008 85(12):2338-2341 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01679317 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.mee.2008.09.014 |