دورية أكاديمية

Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Chemical vapor deposition of chalcogenide materials for phase-change memories
المؤلفون: Abrutis, A., Plausinaitiene, V., Skapas, M., Wiemer, C., Salicio, O., Longo, M., Pirovano, A., Siegel, J., Gawelda, W., Rushworth, S., Giesen, C.
المصدر: In Microelectronic Engineering 2008 85(12):2338-2341
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:01679317
DOI:10.1016/j.mee.2008.09.014