دورية أكاديمية
Optimization of laser anneal conditions for implanted shallow p/n-junctions
العنوان: | Optimization of laser anneal conditions for implanted shallow p/n-junctions |
---|---|
المؤلفون: | Soncini, V., Mica, I., Grasso, S., Polignano, M.L., Sansone, M.A., Margutti, G., Muzi, L. |
المصدر: | In Microelectronic Engineering 1 August 2014 125:51-57 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01679317 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.mee.2014.01.010 |