دورية أكاديمية

Optimization of laser anneal conditions for implanted shallow p/n-junctions

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Optimization of laser anneal conditions for implanted shallow p/n-junctions
المؤلفون: Soncini, V., Mica, I., Grasso, S., Polignano, M.L., Sansone, M.A., Margutti, G., Muzi, L.
المصدر: In Microelectronic Engineering 1 August 2014 125:51-57
قاعدة البيانات: ScienceDirect