دورية أكاديمية
Plasma implantation using high-energy ions and short high voltage pulses
| العنوان: | Plasma implantation using high-energy ions and short high voltage pulses |
|---|---|
| المؤلفون: | Rossi, J.O., Tan, I.H., Ueda, M. |
| المصدر: | In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B January 2006 242(1-2):328-331 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 0168583X |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.nimb.2005.08.055 |