دورية أكاديمية

Design of an apertureless two-stage acceleration lens for a single-ion implantation system

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Design of an apertureless two-stage acceleration lens for a single-ion implantation system
المؤلفون: Ishii, Y., Ohkubo, T., Miyawaki, N., Yuri, Y., Onoda, S., Narumi, K., Saitoh, Y.
المصدر: In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B August 2023 541:200-204
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:0168583X
DOI:10.1016/j.nimb.2023.05.021