دورية أكاديمية

Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings
المؤلفون: Antos, R. *, Ohlidal, I., Mistrik, J., Murakami, K., Yamaguchi, T., Pistora, J., Horie, M., Visnovsky, S.
المصدر: In Applied Surface Science 2005 244(1):225-229
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:01694332
DOI:10.1016/j.apsusc.2004.09.160