دورية أكاديمية
Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings
العنوان: | Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings |
---|---|
المؤلفون: | Antos, R. *, Ohlidal, I., Mistrik, J., Murakami, K., Yamaguchi, T., Pistora, J., Horie, M., Visnovsky, S. |
المصدر: | In Applied Surface Science 2005 244(1):225-229 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01694332 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2004.09.160 |