دورية أكاديمية
Strained-Si with carbon incorporation for MOSFET source/drain engineering
العنوان: | Strained-Si with carbon incorporation for MOSFET source/drain engineering |
---|---|
المؤلفون: | Lee, M.H., Chang, S.T., Lee, S.W., Chen, P.S., Shen, K.-W., Wang, W.-C. |
المصدر: | In Applied Surface Science 2008 254(19):6147-6150 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01694332 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2008.02.179 |