دورية أكاديمية
Low temperature thermal ALD TaNx and TiNx films from anhydrous N2H4
العنوان: | Low temperature thermal ALD TaNx and TiNx films from anhydrous N2H4 |
---|---|
المؤلفون: | Wolf, Steven, Breeden, Michael, Kwak, Iljo, Park, Jun H., Kavrik, Mahmut, Naik, Mehul, Alvarez, Daniel, Spiegelman, Jeffrey, Kummel, Andrew C. |
المصدر: | In Applied Surface Science 31 December 2018 462:1029-1035 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01694332 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2018.07.153 |