دورية أكاديمية
Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices
العنوان: | Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices |
---|---|
المؤلفون: | Tejedor, P., Drescher, M., Vázquez, L., Wilde, L. |
المصدر: | In Applied Surface Science 1 December 2019 496 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 01694332 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.apsusc.2019.143721 |