دورية أكاديمية
Plasma immersion ion implantation in arc and glow discharge plasmas submitted to low magnetic fields
العنوان: | Plasma immersion ion implantation in arc and glow discharge plasmas submitted to low magnetic fields |
---|---|
المؤلفون: | Tan, I.H., Ueda, M., Oliveira, R.M., Dallaqua, R.S., Reuther, H. |
المصدر: | In Surface & Coatings Technology 2007 201(9):4826-4831 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 02578972 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.surfcoat.2006.07.029 |