دورية أكاديمية
The erosion groove effects on RF planar magnetron sputtering
| العنوان: | The erosion groove effects on RF planar magnetron sputtering |
|---|---|
| المؤلفون: | Tadjine, Rabah, Alim, Mounes M., Kechouane, Mohamed |
| المصدر: | In Surface & Coatings Technology 15 January 2017 309:573-578 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 02578972 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.surfcoat.2016.12.009 |