دورية أكاديمية

Influence of a short reverse positive HPPMS pulse on the deposition of CrAlN

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Influence of a short reverse positive HPPMS pulse on the deposition of CrAlN
المؤلفون: Bobzin, K., Brögelmann, T., Kruppe, N.C., Eichenhofer, G., Schulze, C.
المصدر: In Surface & Coatings Technology 15 October 2021 423
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:02578972
DOI:10.1016/j.surfcoat.2021.127625