دورية أكاديمية

Maskless lithography of silazanes for fabrication of ceramic micro-components

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Maskless lithography of silazanes for fabrication of ceramic micro-components
المؤلفون: Ligon, S. Clark, Blugan, G., Kuebler, J.
المصدر: In Ceramics International 1 February 2019 45(2) Part A:2345-2350
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:02728842
DOI:10.1016/j.ceramint.2018.10.151