دورية أكاديمية

Low temperature (002)-oriented zinc oxide films prepared using ozone-based spatial atomic layer deposition

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Low temperature (002)-oriented zinc oxide films prepared using ozone-based spatial atomic layer deposition
المؤلفون: Wu, Wen-Bin, Hsu, Chia-Hsun, Yue, Xin-Xiang, Zhang, Wen-Zhi, Zhang, Jing, Zhang, Xiao-Ying, Gao, Peng, Wu, Wan-Yu, Wuu, Dong-Sing, Lai, Feng-Min, Lien, Shui-Yang
المصدر: In Ceramics International 1 August 2024 50(15):26770-26779
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:02728842
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.04.404