دورية أكاديمية
An investigation of fatigue in LIGA Ni MEMS thin films
| العنوان: | An investigation of fatigue in LIGA Ni MEMS thin films |
|---|---|
| المؤلفون: | Allameh, S.M, Lou, J, Kavishe, F, Buchheit, T, Soboyejo, W.O |
| المصدر: | In Materials Science & Engineering A 2004 371(1):256-266 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 09215093 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.msea.2003.12.020 |