دورية أكاديمية
Fabrication of a high frequency piezoelectric microvalve
العنوان: | Fabrication of a high frequency piezoelectric microvalve |
---|---|
المؤلفون: | Li, H.Q, Roberts, D.C, Steyn, J.L, Turner, K.T, Yaglioglu, O, Hagood, N.W, Spearing, S.M, Schmidt, M.A |
المصدر: | In Sensors & Actuators: A. Physical 2004 111(1):51-56 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 09244247 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.sna.2003.10.013 |