دورية أكاديمية

KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications
المؤلفون: Kuentz, Hugo, Dieppedale, Christel, Mollard, Laurent, Liechti, Romain, Campo, Alain, Hamelin, Antoine, Demange, Valérie, Poulain, Christophe, Guilloux-Viry, Maryline, Le Rhun, Gwenaël
المصدر: In Sensors and Actuators: A. Physical 1 July 2024 372
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:09244247
DOI:10.1016/j.sna.2024.115370