دورية أكاديمية
Silicon–glass wafer bonding with silicon hydrophilic fusion bonding technology
العنوان: | Silicon–glass wafer bonding with silicon hydrophilic fusion bonding technology |
---|---|
المؤلفون: | Xiao, Zhi-Xiong *, Wu, Guo-Ying, Li, Zhi-Hong, Zhang, Guo-Bing, Hao, Yi-Long, Wang, Yang-Yuan |
المصدر: | In Sensors & Actuators: A. Physical 1999 72(1):46-48 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 09244247 |
---|---|
DOI: | 10.1016/S0924-4247(98)00197-6 |