دورية أكاديمية

Plasma-activated GaAs/Si wafer bonding with high mechanical strength and electrical conductivity

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Plasma-activated GaAs/Si wafer bonding with high mechanical strength and electrical conductivity
المؤلفون: Zhao, Yongqiang, Liu, Wen, Bao, Yidi, Yang, Fuhua, Wang, Xiaodong
المصدر: In Materials Science in Semiconductor Processing 1 June 2022 143
قاعدة البيانات: ScienceDirect