دورية أكاديمية

Etching uniformity study of mask electrolyte jet machining based on mass transfer coefficient: 3D simulation and experimental validation

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Etching uniformity study of mask electrolyte jet machining based on mass transfer coefficient: 3D simulation and experimental validation
المؤلفون: Yu, Mingxin, Du, Liqun, Wang, Fenglai, Li, Aoqi, Wang, Zhongmin, Cheng, Haohao
المصدر: In Journal of Manufacturing Processes 30 June 2024 120:96-115
قاعدة البيانات: ScienceDirect
الوصف
تدمد:15266125
DOI:10.1016/j.jmapro.2024.04.003