دورية أكاديمية
Multifunctional X-ray Lithography Station at VEPP-3
| العنوان: | Multifunctional X-ray Lithography Station at VEPP-3 |
|---|---|
| المؤلفون: | Goldenberg, B.G., Lemzyakov, A.G., Nazmov, V.P., Pindyurin, V.F. |
| المصدر: | In Physics Procedia 2016 84:205-212 |
| قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
Full Text Finder | تدمد: | 18753892 |
|---|---|
| DOI: | 10.1016/j.phpro.2016.11.036 |