دورية أكاديمية
Characterization of MEMS Resonators via Feedthrough De-embedding of Pulsed-mode Response
العنوان: | Characterization of MEMS Resonators via Feedthrough De-embedding of Pulsed-mode Response |
---|---|
المؤلفون: | Brenes, A., Juillard, J., Santos, F. Vinci Dos, Bonnoit, A. |
المصدر: | In Procedia Engineering 2014 87:823-826 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
تدمد: | 18777058 |
---|---|
DOI: | 10.1016/j.proeng.2014.11.278 |