دورية أكاديمية
Comprehensive investigation of Er2O3 thin films grown with different ALD approaches
العنوان: | Comprehensive investigation of Er2O3 thin films grown with different ALD approaches |
---|---|
المؤلفون: | Khomenkova, L., Merabet, H., Chauvat, M.-P., Frilay, C., Portier, X., Labbe, C., Marie, P., Cardin, J., Boudin, S., Rueff, J.-M., Gourbilleau, F. |
المصدر: | In Surfaces and Interfaces November 2022 34 |
قاعدة البيانات: | ScienceDirect |
كن أول من يترك تعليقا!