Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:	Giant Piezoelectricity on Si for Hyperactive MEMS
المؤلفون:	Baek, S. H., Park, J., Kim, D. M., Aksyuk, V. A., Das, R. R., Bu, S. D., Felker, D. A., Lettieri, J., Vaithyanathan, V., Bharadwaja, S. S. N., Bassiri-Gharb, N., Chen, Y. B., Sun, H. P., Folkman, C. M., Jang, H. W., Kreft, D. J., Streiffer, S. K., Ramesh, R., Pan, X. Q., Trolier-McKinstry, S., Schlom, D. G., Rzchowski, M. S., Blick, R. H., Eom, C. B.
المصدر:	Science, 2011 Nov . 334(6058), 958-961.
URL الوصول:	https://www.jstor.org/stable/41351741
قاعدة البيانات:	JSTOR Journals

الوصف
تدمد:	00368075 10959203