TSV development for miniaturized MEMS acceleration switch

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: TSV development for miniaturized MEMS acceleration switch
المؤلفون: Lietaer, Nicolas, Summanwar, Anand, Dalsjø, Per G., Bakke, Thor, Tofteberg, Hannah Rosquist
الإتاحة: http://hdl.handle.net/11250/2429936
قاعدة البيانات: NORA (Norwegian Open Research Archive)