تقرير
Wafer-level packaged MEMS switch with TSV
العنوان: | Wafer-level packaged MEMS switch with TSV |
---|---|
المؤلفون: | Lietaer, Nicolas, Bakke, Thor, Summanwar, Anand, Dalsjø, Per G., Gakkestad, Jakob, Niklaus, Frank |
الإتاحة: | http://hdl.handle.net/11250/2431338 |
قاعدة البيانات: | NORA (Norwegian Open Research Archive) |
الوصف غير متاح. |