Wafer-level packaged MEMS switch with TSV

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Wafer-level packaged MEMS switch with TSV
المؤلفون: Lietaer, Nicolas, Bakke, Thor, Summanwar, Anand, Dalsjø, Per G., Gakkestad, Jakob, Niklaus, Frank
الإتاحة: http://hdl.handle.net/11250/2431338
قاعدة البيانات: NORA (Norwegian Open Research Archive)