كتاب إلكتروني
Clean Room and Air Conditioning Systems
| العنوان: | Clean Room and Air Conditioning Systems |
|---|---|
| المؤلفون: | Xiao, DeyuanAff5 |
| المساهمون: | Wang, Yangyuan, editorAff1, Chi, Min-Hwa, editorAff2, Lou, Jesse Jen-Chung, editorAff3, Chen, Chun-Zhang, editorAff4 |
| المصدر: | Handbook of Integrated Circuit Industry. :603-609 |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature eBooks |
| ردمك: | 9789819928354 9789819928361 |
|---|---|
| DOI: | 10.1007/978-981-99-2836-1_29 |