دورية أكاديمية
A compact package for integrated silicon thermal gas flow meters
العنوان: | A compact package for integrated silicon thermal gas flow meters |
---|---|
المؤلفون: | Bruschi, P., Nurra, V., Piotto, M. |
المصدر: | Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. July 2008 14(7):943-949 |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 09467076 14321858 |
---|---|
DOI: | 10.1007/s00542-007-0490-2 |