دورية أكاديمية

C-V and C-t analysis of buried oxide layers formed by high-dose oxygen implantation

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: C-V and C-t analysis of buried oxide layers formed by high-dose oxygen implantation
المؤلفون: Brady, F. T., Li, S. S., Krull, W. A.
المصدر: Journal of Electronic Materials. May 1989 18(3):385-389
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:03615235
1543186X
DOI:10.1007/bf02657987