دورية أكاديمية

Polycrystalline silicon PhC cavities for CMOS on-chip integration

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Polycrystalline silicon PhC cavities for CMOS on-chip integration
المؤلفون: Iadanza, S.Aff1, Aff2, IDs41598022215786_cor1, Devarapu, G. C. R.Aff1, Aff2, Blake, A., Alba, P. Acosta, Pedini, J.-M., O’Faolain, L.Aff1, Aff2
المصدر: Scientific Reports. 12(1)
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:20452322
DOI:10.1038/s41598-022-21578-6