دورية أكاديمية
Polycrystalline silicon PhC cavities for CMOS on-chip integration
العنوان: | Polycrystalline silicon PhC cavities for CMOS on-chip integration |
---|---|
المؤلفون: | Iadanza, S.Aff1, Aff2, IDs41598022215786_cor1, Devarapu, G. C. R.Aff1, Aff2, Blake, A., Alba, P. Acosta, Pedini, J.-M., O’Faolain, L.Aff1, Aff2 |
المصدر: | Scientific Reports. 12(1) |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 20452322 |
---|---|
DOI: | 10.1038/s41598-022-21578-6 |