دورية أكاديمية
The evolution of the ion implantation damage in device processing
العنوان: | The evolution of the ion implantation damage in device processing |
---|---|
المؤلفون: | Polignano, M. L., Mica, I., Bontempo, V., Cazzaniga, F., Mariani, M., Mauri, A., Pavia, G., Sammiceli, F., Spoldi, G. |
المصدر: | Journal of Materials Science: Materials in Electronics. December 2008 19(1):182-188 |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 09574522 1573482X |
---|---|
DOI: | 10.1007/s10854-008-9630-4 |