دورية أكاديمية
Ion Implantation in Diazoquinone–Novolac Photoresist
| العنوان: | Ion Implantation in Diazoquinone–Novolac Photoresist |
|---|---|
| المؤلفون: | Brinkevich, D. I.Aff1, IDS0018143922040051_cor1, Brinkevich, S. D.Aff1, Aff2, IDS0018143922040051_cor2, Prosolovich, V. S. |
| المصدر: | High Energy Chemistry. 56(4):270-276 |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
Find this article in full text from Springer Verlag. 
Full Text Finder | تدمد: | 00181439 16083148 |
|---|---|
| DOI: | 10.1134/s0018143922040051 |