دورية أكاديمية

On the reproducibility of electron-beam lithographic fabrication of photonic nanostructures

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: On the reproducibility of electron-beam lithographic fabrication of photonic nanostructures
المؤلفون: Sahoo, Pankaj K.Aff1, Aff2, IDs4159802458842w_cor1, Coates, Eve, Silver, Callum D., Li, Kezheng, Krauss, Thomas F.
المصدر: Scientific Reports. 14(1)
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:20452322
DOI:10.1038/s41598-024-58842-w