دورية أكاديمية

Sputtering of Ag (111) nanotwinned films on Si (100) wafers for backside metallization of power devices

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Sputtering of Ag (111) nanotwinned films on Si (100) wafers for backside metallization of power devices
المؤلفون: Wu, Po-Ching, Lai, Yu-Chang, Lee, Pei-Ing, Chiang, Meng-TingAff1, Aff2, Chou, Justin, Chuang, Tung-HanAff1
المصدر: Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 32(6):7319-7329
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:09574522
1573482X
DOI:10.1007/s10854-021-05442-3