دورية أكاديمية

GAS-JET SYNTHESIS OF DIAMOND COATINGS ON SILICON SUBSTRATES FROM AN H2 + CH4 + Ar MIXTURE ACTIVATED IN A MICROWAVE DISCHARGE

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: GAS-JET SYNTHESIS OF DIAMOND COATINGS ON SILICON SUBSTRATES FROM AN H2 + CH4 + Ar MIXTURE ACTIVATED IN A MICROWAVE DISCHARGE
المؤلفون: Emelyanov, A. A., Plotnilkov, M. Yu.Aff4, IDS0021894423050024_cor2, Timoshenko, N. I., Yudin, I. B.
المصدر: Journal of Applied Mechanics and Technical Physics. 64(5):748-756
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:00218944
15738620
DOI:10.1134/s0021894423050024