دورية أكاديمية

Analysis of Layer Composition Formed on Stainless Steel Substrates upon Chemical Vapor Deposition of Tantalum

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Analysis of Layer Composition Formed on Stainless Steel Substrates upon Chemical Vapor Deposition of Tantalum
المؤلفون: Sapegina, I. V.Aff1, Goncharov, O. Yu.Aff1, Ladyanov, V. I.Aff1
المصدر: Inorganic Materials: Applied Research. 12(3):731-734
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals