دورية أكاديمية
Formation of Defects Forming Deep Levels in SiON/AlGaN/GaN Structures
العنوان: | Formation of Defects Forming Deep Levels in SiON/AlGaN/GaN Structures |
---|---|
المؤلفون: | Enisherlova, K. L.Aff1, IDS1063739723080085_cor1, Mikhaylov, I. A., Seidman, L. A., Kirilenko, E. P., Kolkovsky, Yu. V. |
المصدر: | Russian Microelectronics. 52(8):817-826 |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 10637397 16083415 |
---|---|
DOI: | 10.1134/s1063739723080085 |