دورية أكاديمية

Micromechanical Thin-Film Characterization

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Micromechanical Thin-Film Characterization
المؤلفون: Scherge, M., Mollenhauer, O., Spiller, F., Schaefer, J. A.
المصدر: MRS Online Proceedings Library. 569(1):139-144
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:02729172
19464274
DOI:10.1557/proc-569-139