دورية أكاديمية
Micro-Raman Evaluation of Polycrystalline Silicon MEMS Devices
| العنوان: | Micro-Raman Evaluation of Polycrystalline Silicon MEMS Devices |
|---|---|
| المؤلفون: | Justin, R. Serrano, Leslie, M. Phinney, Sean, P. Kearney |
| المصدر: | MRS Online Proceedings Library. 890(1) |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
Find this article in full text from Springer Verlag. | تدمد: | 02729172 19464274 |
|---|---|
| DOI: | 10.1557/proc-0890-y08-37 |