دورية أكاديمية

Impact of rapid thermal annealing on impurities removal efficiency from silicon carbide for optoelectronic applications

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Impact of rapid thermal annealing on impurities removal efficiency from silicon carbide for optoelectronic applications
المؤلفون: Barbouche, M.Aff1, Zaghouani, R. Benabderrahmane, Benammar, N.E., Khirouni, K., Turan, R., Ezzaouia, H.
المصدر: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 106(1-2):731-739
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:02683768
14333015
DOI:10.1007/s00170-019-04556-7