دورية أكاديمية
Size Reduction of Silicon Nanopillars by Photo-Electrochemical Etching
العنوان: | Size Reduction of Silicon Nanopillars by Photo-Electrochemical Etching |
---|---|
المؤلفون: | Juhasz, Robert, Linnros, Jan, Kleimann, Pascal |
المصدر: | MRS Online Proceedings Library. 638(1) |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 02729172 19464274 |
---|---|
DOI: | 10.1557/proc-638-f8.5.1 |