دورية أكاديمية
Analysis of Low-k Organosilicon and Low-Density Silica Films Deposited in HMDSO Plasmas
العنوان: | Analysis of Low-k Organosilicon and Low-Density Silica Films Deposited in HMDSO Plasmas |
---|---|
المؤلفون: | Borvon, G., Goullet, A., Granier, A., Turban, G. |
المصدر: | Plasmas and Polymers. December 2002 7(4):341-352 |
قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
تدمد: | 10840184 15728978 |
---|---|
DOI: | 10.1023/a:1021381003259 |