دورية أكاديمية

Microwave Plasma Etching Treatment for Single Crystal Diamond

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Microwave Plasma Etching Treatment for Single Crystal Diamond
المؤلفون: Han, XiaotongAff1, Aff2, Peng, YanAff1, Aff2, IDs1166402209735z_cor2, Wang, Xiwei, Duan, Peng, Hu, Xiufei, Yang, Yiqiu, Li, Bin, Xu, XiangangAff1, Aff2, IDs1166402209735z_cor8, Hu, XiaoboAff1, Aff2, Wang, Dufu
المصدر: Journal of Electronic Materials. 51(9):4995-5004
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:03615235
1543186X
DOI:10.1007/s11664-022-09735-z