دورية أكاديمية
Atomic Layer Deposition of thin Films Using Sequential Surface Reactions
| العنوان: | Atomic Layer Deposition of thin Films Using Sequential Surface Reactions |
|---|---|
| المؤلفون: | George, S. M., Ferguson, J. D., Klaus, J. W. |
| المصدر: | MRS Online Proceedings Library. 616(1):93-101 |
| قاعدة البيانات: | Springer Nature Journals |
Find this article in full text from Springer Verlag. | تدمد: | 02729172 19464274 |
|---|---|
| DOI: | 10.1557/proc-616-93 |